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真空科技(Parylene技术)
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真空科技(parylene技术)介绍
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什么是Parylene?
中文名:聚对二甲苯、派瑞林。
是一种聚脂保护材料,透明无色。在室温状态下应用于真空工艺,真空金属化处理压力10-5torr或以下进行,而Parylene覆膜加工在0.1torr左右形成. 涂层厚度可以控制在1至100微米之间,早在六十年代初期由美国人专利开发,并首先应用在美国军用印刷电路板、航空航天及水下发射装置中的微电子部件等领域1972年被例入美军标:
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